真空衰减法密封仪也叫真空指数法密封仪,是一种用于测量微处理器封装物中气体的渗透率的测试仪。它通过改变空气压力,测量气体在管内、容器内、空腔内扩散性能,从而评估封装物的密封性。有一定容量的真空腔,在这个真空腔内,存储了大量的压缩空气,然后使用活塞筒或杠杆来拉动真空阀,改变真空腔压力,该真空腔内的气体从压力大的地方向压力小的地方移动,这样就形成了一个真空衰减的过程。通常情况下,当真空腔内的气体温度保持恒定,同时真空腔的压力也保持恒定,也就可以正确的测量出气体渗透率。
如何操作?
1.使用之前,首先要确保电源通断,以及真空腔内的油气已经排尽,并将真空腔放置水平,以减少气体渗透的影响。
2.接着,依次打开电源和真空阀,使真空腔内压力降低,直到达到预设的值,然后关闭真空阀。
3.将样品放置在真空腔内,等待规定的时间,通常是十几分钟,以确保样品有足够的时间在真空环境中接受测试。
4.测试完成后,打开真空阀,快速让真空腔内的压力回复到正常,然后关闭电源和真空阀。
应该注意哪些?
1、外壳应全部打开,将被测件的相关参数设置好,如排气孔、进气孔大小、进气压力等。
2、在给仪器供电前,应先检查仪表各参数,并且确保电源电压稳定。
3、将仪器的真空泵连接上,打开真空泵,将真空腔内的空气抽空。
4、在真空腔内调整压力到预设值,使压力保持稳定,然后将带有被测物的密封件安装入真空腔内,并紧固它们。
5、操作者要用手动调节阀来控制真空衰减仪,按照相关参数进行设置,以控制真空衰减仪的阀门气流量,然后让它衰减到所需的压力值。
6、当被测物达到设定压力时,真空衰减仪应停止衰减,通过测试被测物是否满足所需的密封标准来检查密封情况,如果不满足要求则应重新调整真空衰减仪,直到满足要求为止。
7、完成测试后,请及时关闭真空衰减仪的电源,并且及时将密封件及相关连接管路拆开,避免影响下一次测试。